Влияние технологического микроклимата на качество изделий микроэлектроникиKaipoksin, L.; Puusepp, Ü.; Rätsep, Ülo; Teevet, J.-T.Электронная промышленность : ЭП : научно-технический сборник1983 / с. 76-79 : илл https://www.ester.ee/record=b1802011*est